“發生的中興事件讓我們看到了我國缺‘芯’的問題，事實上我們不僅僅是缺‘芯’，更重要的是缺‘氣’。要知道，芯片的生產制造也離不開我們工業氣體。”當蘇州金宏氣體股份有限公司董事長金向華結合時下熱議的“中興事件”談及我國工業氣體行業發展現狀時，一句“缺氣”的總結使得與會人士都備受觸動。

　　金向華是在4月26日至27日在上海舉行的中國工業氣體工業協會第28次會員代表大會暨2018年年會的綜合論壇上發表上述觀點的。中國工業氣體工業協會的統計數據顯示，我國工業氣體總產值增長率均達12%以上，與國家GDP增長率保持兩倍左右的正相關關系，氣體業務外包占比50%左右，預計2018年將達到1400億元。

　　“改革開放40年來，我國工業氣體工業取得了長足的進步，但我們同時也要看到，在高端產品，尤其是特氣（特殊氣體）方面，國內的企業實力還比較弱，很多產品幾乎都被外資企業所壟斷。”中國工業氣體工業協會秘書長洑春干告訴記者，目前電子芯片生產用的特氣，我國僅能生產約20%，其余全部依賴進口。

　　電子氣體國產化迫在眉睫，是與會代表達成的共識。“中國必須掌握電子氣體核心技術。”洑春干呼吁國內企業加大自主創新，用實際行動為“中國芯”打氣。

　　行業面臨轉型升級

　　“40年前，我國自主知識產權的板翅式換熱器專有技術出口到發達國家，該技術***，結束了板式全進口的歷史。”說起改革開放之初，我國的空分（空氣分離）設備***次出口的歷史，杭州氧氣股份有限公司（以下簡稱杭氧）設計院主任張震仍然難掩自豪之情。

　　中國工業氣體協會的前身就是成立于1987年的全國空分氣體行業聯誼會，空分行業也一直被看做是工業氣體行業發展的“晴雨表”。歷經40年的發展，我國的空分設備已經取得了長足的進步，作為我國空分設備的領軍者，杭氧已經在今年與神華寧煤研發的神華寧煤10萬等級空分設備實現了10萬等級空分設備設計制造、調試和運行技術的突破，使得“國產10萬等級空分設備實現了從‘百米跑’到‘馬拉松’的跨越。”

　　“隨著10萬以上等級空分技術上的***突破，空分等級不再是制約我國空分技術發展應用的因素，且大大提升了用戶對國產裝備的信心，為實現特大型空分系統全國產化推廣應用奠定了基礎。空分技術發展將繼續帶動空分下游相關配套廠商的配套能力和水平的不斷升級。將形成相互促進發展的良性循環。”張震說，未來5年，中國空分市場繼續向大型化邁進，對7萬等級以上空分的需求達到60多套，超過480萬Nm3/h（氧），具有近200億元的市場，空分技術的發展具有不竭的驅動力。

　　空分技術的發展是我國整個工業氣體行業的一個縮影。目前，全行業形成了一個類似金字塔式的供氣模式和競爭格局，塔尖是管道氣現場制氣，幾乎為外資所壟斷；中間層是液態氣體，外資與國企、民企充分競爭；塔底是鋼瓶氣，其中大宗氣體3000多家民企充分競爭，小而散，特氣外資主導、部分國內企業實現突破。

　　“隨著環保要求升級和行業競爭加劇，工業氣體行業面臨轉型和洗牌，要摒棄惡性競爭，用創新逐步填補國內相關產品的空白。”金向華說。

　　缺“氣”局面亟待突破

　　盡管在鋼瓶氣等傳統及中低端產品方面，我國已經形成了規模優勢，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國的差距還是比較明顯。“特氣是新興門類，在特定領域應用。目前外資在產品質量和產業規模上均具有較大優勢，國內還有很多特氣不能生產，很多產品還處于進口替代過程中。”廣東華特氣體股份有限公司總經理傅鑄紅透露，目前全國的工業氣體中特氣占比15%，特氣中一半是電子特氣。

　　據洑春干介紹，電子氣體作為極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可缺少的基礎和支撐性材料之一，被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽能產品就無法制造。據業內不完全統計，2016年我國晶圓制造電子材料市場總額達343.03億元，較2015年增長6.9%，預計2017年將達359.36億元。未來中國基于廣大的市場消費群體，預計仍將保持增長態勢。

　　經過近10年發展，國內電子氣體行業涌現了一批生產質量穩定，能夠被半導體客戶接受的電子氣體生產企業。從2012年至2016年，國內電子氣體企業生產銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，預計2017年將增加至28.4%。國內電子氣體市場接近全球的1/3，而且比例還在不斷提高，但國內自給率卻非常低，近八成產品依賴進口。

　　“有些電子氣體國內并不是完全不能生產，但在技術精益性上與國際先進水平有差別。譬如氯化氫，國內企業也可以做到水分含量只有0.1ppm，但難以確保質量恒定在高水平。”傅鑄紅說。

　　據了解，國家對電子氣體的發展一直比較重視，僅去年就出臺了多項鼓勵政策。譬如科技部印發的《“十三五”先進制造技術領域科技創新專項規劃》提到要重點研發超高純電子氣體；發改委印發的《增強制造業核心競爭力3年行動計劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣。“我們應抓住時機，通過自主創新，增加產品種類，提高國產化率，爭取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約。”洑春干說道。（記者 徐建華）

　　轉自：中國質量報